簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "圖案化".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="呂立鑫"


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    電致動力輔助化學機械平坦化應用於奈米雙晶銅圖案化晶圓平坦化研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 鍾誠 指導教授: 陳炤彰 呂立鑫
    • 本研究透過交錯式電極最佳化設計,以優化電致動力輔助化學機械平坦化製程(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Planarization, EKF-CMP…
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    • 全文公開日期 2024/08/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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